2024年上半年，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)委頒布了5項(xiàng)電子氣體國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 43771-2024《電子氣體 一氧化碳 》，GB/T 43772-2024《電子氣體 二氧化碳》和GB/T 43773-2024《電子氣體 羰基硫》于2024年3月15日頒布，2024年10月1日 起正式實(shí)施。GB/T 43976-2024 《電子氣體 四氟甲烷》和GB/T 43977-2024《電子氣體 八氟環(huán)丁烷》于 2024年4月25日頒布，2024年11月1日 起正式實(shí)施。

電子氣體是半導(dǎo)體工業(yè)中使用的關(guān)鍵材料，其質(zhì)量和純度直接影響芯片制造的效率和成品率。電子氣在蝕刻、沉積、清洗等半導(dǎo)體制造工藝中起著至關(guān)重要的作用。電子氣不僅是半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ)保障，更是推動(dòng)科技進(jìn)步和行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵力量。其應(yīng)用范圍廣泛，包括晶圓制造、顯示器生產(chǎn)和太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域，支撐著眾多高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

電子氣體的質(zhì)量和純度檢測(cè)主要采用氣相色譜等分析儀器。

GB/T 43773-2024《電子氣體 羰基硫》

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割進(jìn)樣的方法測(cè)定羰基硫中氫、氧＋氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氫、二氧化硫、二硫化碳含量。

GB/T 43976-2024 《電子氣體 四氟甲烷》

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割（除）進(jìn)樣的方法測(cè)定四氟甲烷中氫、氧＋氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷含量。

GB/T 43977-2024《電子氣體 八氟環(huán)丁烷》

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割（除）進(jìn)樣的方法測(cè)定八氟環(huán)丁烷中的氧＋氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟丙烯含量。

GB/T 43771-2024《電子氣體 一氧化碳 》

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的方法測(cè)定一氧化碳中的氫、氧＋氬、氮、二氧化碳含量。

GB/T 43772-2024《電子氣體 二氧化碳》

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定按照 GB/T 28726《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》規(guī)定的切割進(jìn)樣的方法測(cè)定二氧化碳中的氫、氧＋氬、氮、一氧化碳含量。