對于熱裂解色譜分析儀器分析準確度一般是包含分析結果的正確程度和重復程度兩個方面，也就是說包括系統誤差和隨機誤差的聯合效應。

方法一：平行測定。

兩份結果若相差很大，差值超出了允許差范圍，這就表明兩個結果中至少有一個應重新分析，兩份結果若很接近，可取平均值，但不能說所得結果正確無誤。對于氣相色譜儀分析，一般稱之為重復性，在色譜儀鑒定標準中有相關規定。

方法二：用標樣對照。

在一批分析中同時帶一個標準樣品，如操作無誤而標樣分析結果與標樣的參考值一致，說明本批分析結果沒有出現明顯的誤差，那么這個分析結果基本是認可的。但分析試樣的成分應與標樣接近，否則不能說明問題。

方法三：用不同的分析方法對照。

這是比較可靠的檢驗方法。如用熱裂解氣相色譜儀測定混凝土硅烷浸漬深度含量的結果與質譜儀的結果取得了一致，則一般證明此結果是可靠的，反之，說明兩種方法中至少有一種方法的測定結果不準確。