電感耦合等離子體質譜是一種以獨特的接口技術將電感耦合等離子體的高溫電離特性與四級桿質譜計相結合而形成的一種主要用于測定超痕量元素和同位素比值的儀器，是由離子體發生器、霧化室、矩管、四極質譜儀、快速通道電子倍增管 ( 離子探測器或收集器 ) 組成。

該技術具有樣品制備和進樣技術簡單、檢出限低、動態線性范圍寬、譜線簡單、干擾少、分析精密度高、分析速度快、能同時測定多種元素、基體效應小等優點，被公認為是理想的無機元素分析方法，故而現已廣泛應用于各個檢測領域。近年來，隨著國家對環保工作的日益重視，電感耦合等離子體質譜儀在地表水、地下水、生活污水等環境監測領域，尤其是環境重金屬分析方面發揮著越來越重要的作用。

電感耦合等離子體質譜儀工作原理是霧化器將溶液樣品送入等離子體光源中，在高溫下汽化下電離出離子化氣體，通過銅或鎳取樣錐收集的離子在低真空壓力下形成分子束，再通過1-2毫米直徑的截取板進入四極桿質譜分析器，經濾質器質量分離后，到達離子探測器，便可按照荷質比進行半定量分析，或者是按照特定荷質比的離子數目進行定量分析測出元素的含量或同位素比值。

作為無機分析領域的利器，電感耦合等離子質譜儀的使用頻率十分高，為此對儀器的定期維護十分重要：操作人員應該定期檢查機械泵的油位及顏色，添加或更換泵油；定期打開機械泵的振氣閥使油氣過濾器中的泵油流回泵中；一般半年就應更換一次循環水等。