電感耦合等離子體質譜具有檢出限低、動態線性范圍寬、譜線簡單、干擾少、分析精密度高、分析速度快、可提供同位素信息等特性，是實驗室不可或缺的儀器。而若想保證其正常運行與工作，需要對其進行合理的保養與維護。
 
　　透鏡
 
　　透鏡可將接口提取的離子流聚焦稱散角盡量小的離子束以滿足質量分析器的工作要求，長期使用后就容易積累一些沉積物。而離子透鏡被污染的標志有兩種，一是透鏡電壓的增高，二是低質量數元素穩定性變差。如果出現以上情況，可以拆下透鏡組件，將其浸入裝有2.5%硝酸溶液的燒杯中超聲清潔2-5分鐘，在用去離子水清洗后待其徹底干燥后安裝。
 
　　真空泵系統
 
　　真空泵系統油機械泵和渦旋分子泵組成。因分析樣品不同，泵油使用周期不等，故而應經常檢查泵中油的高度和泵油的顏色，若泵油顏色由淺黃色變至深黃色時，就需要更換泵油。
 
　　循環冷卻水裝置及空氣過濾網
 
　　如果循環冷卻水裝置前面的紅色警示燈亮，表明循環水裝置中的冷卻液位置低于正常水平，此時就需要補充冷卻液；因冷卻液pH應保持在6.5-8.5，溫度在15-30℃，壓力為241-414kPa，故而應當定期觀察冷卻液顏色，當變成淡綠色時，證明亟需更換冷卻液；而用于過濾空氣中塵粒的空氣過濾網也應及時清洗和更換。
 
　　四級桿分析器
 
　　電感耦合等離子體質譜的四級桿分析器是由四個平行的導電棒組成的質量過濾器，只有滿足質荷比要求的目標離子才能在任意時刻通過質譜儀，不符合要求的較大離子或較小離子均會被四級桿過濾掉，故而不需要日常維護。

檢測器

檢測器在使用一段時間之后會有“疲勞效應”，導致靈敏度下降，作為消耗品，檢測器也無需進行保養。